真空対応アイテムの製品シリーズ

真空対応アイテムの製品シリーズ

PIは、高真空（HV）または超高真空（UHV）にすでに適した特定の製品シリーズの特定のカタログアイテムを提供しています。

さらに、ほとんどの多軸ソリューションは、真空での使用のために要求に応じて変更できます。真空設計についての更なる情報については>> 真空テクノロジーページ

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ヘキサポッド

H-850.V 真空対応ヘキサポッド

最大耐荷重80 kg
  • Vaccum Version
  • Range ±50/±50/±25mm
  • Rotation range ±15/±15/±30°

H-824.V 真空対応ヘキサポッド

コンパクトで高精度
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±22.5 mm / ±22.5 mm / ±12.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±7.5° / ±7.5° / ±12.5°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.4 μmまで / ±0.4 μmまで / ±0.10 μmまで
  • 最大ペイロード（水平方向／任意方向）: 5 kgまで / 2.5 kgまで
  • 最大速度 X/Y/Z: 12.5 mm/sまで

H-811.I2V 真空対応小型ヘキサポッド

コンパクトで高精度
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±10° / ±10° / ±21°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.15 μm / ±0.15 μm / ±0.06 μm
  • 最大ペイロード（水平方向／任意方向）: 5 kg / 2.5 kg
  • 最大速度 X/Y/Z: 10 mm/s

直線、回転、昇降ステージおよびアクセサリ

RS-40 V7 Compact Rotation Stage Suitable for Vacuum

Precision Positioning

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vacuum-Compatible Compact Linear Stage

XY(Z) Combinations with DC Gear Motor, Various Travel Range Variants

VT-80 V6 Linear Stage Suitable for Vacuum

Basic Version for Universal Fields of Use

L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum

High Run-Out Accuracy

L-509 V6 • V7 • V9 Vacuum-Compatible Precision Linear Stage

Compact Design, for Loads to 10 kg
  • Travel range: 26 mm to 102 mm
  • Max. payload: 10 kg
  • Max. velocity: to 10 mm/s

L-310 V6 Precision Z Stage Suitable for Vacuum

Can be Compactly Combined with Linear and Rotation Stages
PI L-500

L-500 Adapter Bracket

For Vertical Mounting of Linear and Rotation Stages
Adapter Bracket
新製品

AB-65 Adapter Bracket

For Vertical Mounting of Linear and Rotation Stages

C-815.VF Vacuum Feedthroughs

Interfaces Between Air Side and High Vacuum (HV) or Ultrahigh Vacuum (UHV)

L-220 V6 High-Resolution Linear Actuator Suitable for Vacuum

Suitable for High Cycle Numbers
  • Travel range: 26 mm
  • Drive force: 125 N
  • Bidirectional repeatability: 2 µm
  • Max. velocity: 0.8 mm/s

ピエゾアクチュエータ ステージ

P-841 プリロード型ピエゾアクチュエーター

Compact Actuators for High Loads and Forces, with Position Sensor
  • PICMAピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
  • トラベルレンジ：最大90 µm
  • コンパクトな筐体
  • 圧縮力容量：最大1000 N
  • 引張力容量：最大50 N
  • マイクロ秒の応答時間
  • サブナノメートル分解能
  • ボールチップバージョンを展開

P-840 プリロード型ピエゾアクチュエーター

Compact Actuators for High Loads and Forces
  • PICMAピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
  • トラベルレンジ：最大90 µm
  • コンパクトな筐体
  • 圧縮力容量：最大1000 N
  • 引張力容量：最大50 N
  • マイクロ秒の応答時間
  • サブナノメートル分解能
  • ボールチップバージョンを展開

P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー

開口部を備えた高精度XYZスキャナー
  • トラベルレンジ（X/Y）：最大100 µm
  • トラベルレンジ（Z）：10 µm
  • 最大耐荷重：5 kg

P-753 LISA リニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ

Dynamic and Stable in Position
  • トラベルレンジ：最大38 µm
  • 最大耐荷重：10 kg

P-518 • P-528 ピエゾZ/チップ/チルトステージ

High Dynamics with Large Aperture
  • 回転レンジ（θX/θY）：最大2.4 mrad
  • 最大耐荷重：5 kg
  • 双方向再現性（θX/θY）：最大0.05 µrad

P-733.2 XYピエゾナノポジショナー

開口部を備えた高精度XYスキャナー
  • トラベルレンジ（X/Y）：最大100 µm
  • 最大耐荷重：5 kg

P-620.1 - P-629.1 PIHera高精度リニアポジショナー

Variable Travel Ranges and Axis Configuration
  • トラベルレンジ：50 µm～1,800 µm
  • 最大耐荷重：1 kg
  • 双方向再現性：最大1 nm

P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ

最大3軸に対応可能な高精度ナノポジショナー
  • トラベルレンジ（X/Y）：最大300 µm
  • トラベルレンジ（Z）：最大300 µm
  • 最大耐荷重：25 kg

P-620.2 - P-629.2 PIHera XYピエゾステージ

豊富なトラベルレンジを選択可能な高精度XYナノポジショナー
  • トラベルレンジ（X/Y/Z）：最大1,500 µm
  • 双方向再現性（X/Y）：最大2 nm
  • 最大耐荷重：1 kg

P-216 Preloaded PICA Power Piezo Actuators

Preloaded Piezo Actuators (HVPZT) with Sensor Option
  • Travel range to 180 µm
  • Push force to 4500 N
  • Pull force to 500 N
  • Subnanometer resolution
  • For vacuum/ high temperature

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertical Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration
  • Travel range: to 350 µm
  • Max. payload: 1 kg
  • Bidirectional repeatability: 1 nm

P-845 Preloaded Piezo Actuators

For Very High Loads and Forces, with Position Sensor
  • Outstanding lifetime due to PICMA® piezo actuators
  • Travel range to 90 µm
  • Push force capacity to 3000 N
  • Pull force capacity to 700 N
  • µs response time
  • Subnanometer resolution

P-844 Preloaded Piezo Actuators

For Very High Loads and Forces
  • Travel range: to 90 µm
  • Max. payload: 300 kg

P-235 Preloaded PICA Power Piezo Actuators

Preloaded High-Load Piezo Actuators (HVPZT) with Sensor Option
  • High Force
  • Travel range 180 µm
  • Extremely high stiffness
  • Push force to 30000 N
  • Pull force to 3500 N

N-480 High-Precision Kinematic Mirror Mount

With N-470 PiezoMike Linear Actuators
  • Rotation range θX/θY: 8 µrad to 16 µrad

N-470.V PiezoMike Linear Actuator

Minimum Dimensions, High Forces, Stable Positioning, Vacuum to 10-6 hPa
  • Travel range: to 13 mm
  • Drive force: 22 N
  • Max. velocity: 2.4 mm/min

センサ

D-050 • D-100 Capacitive Sensors

Subnanometer-Resolution Position Sensors
  • Highest precision
  • Resolution to 0.01 nm
  • Linearity error to 0,01%
  • Measuring range to 300 µm

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