XYステージ

PI社のXYステージ分野では、安定性、精度、およびダイナミクスが重要です。それらは高いスループット率と信頼できるオペレーションの基礎となります。

PI社は、PIMag®磁気リニアモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。PI社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。

トポロジー測定などの顕微鏡用途向けのPIline®駆動試料ステージでは、高速で再現性に優れたスキャンと速度安定性を両立しています。本ステージはこの分野では非常に薄型であり、ピエゾフレクシャ試料ステージとの併用によりさまざまな用途に対応できます。