F-572.630
3つの直動軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、直動軸の最大速度：500 mm/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、回転軸用アダプター：下部、コントローラー付属
F-572 3～6軸の高性能フォトニクスアライメントシステム
超高精度ナノポジショニングリニアステージとACSコントローラーで構成されるシステム
- 優れた操作性： お客様は目標座標を入力することで位置指令ができ、回転中心も自由に設定可能です。必要な座標変換はコントローラーにより行われ、ユーザーによる座標変換は必要ありません。
- 高い堅牢性と耐久性：産業用途に最適です
- 生産コストの削減：PIのアルゴリズムに基づく内蔵ルーチンにより、アクティブアライメント時のスループットを最大化します
F-572.64XおよびF-572.64XNの寸法
F-572.64YおよびF-572.64YNの寸法
F-572.74XおよびF-572.74XNの寸法
F-572.74YおよびF-572.74YNの寸法
F-572.630およびF-572.630Nの寸法
F-572.663およびF-572.663Nの寸法
F-572.730およびF-572.730Nの寸法
F-572.763およびF-572.763Nの寸法
F-572 3～6軸の高性能フォトニクスアライメントシステム
製品の解説
仕様
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見積 / 発注
アライメントシステムの納入品目には、全軸を制御する事前構成済みのACSコントローラーが含まれます。 コントローラー（ACSバッファ）には、高速エリアスキャンと勾配検索を備えたFMPAルーチンが実装されています。 これにより、プロセスシーケンスにおけるアライメント時間が大幅に短縮され、関連コストも削減されます。 F-572向けの最適なアドオンとして、ファーストライト検索用の超高速PILightningアルゴリズムがオプションで利用可能です。
用途とユースケース
高い耐荷重能力（2 kg）と優れた精度を備えているため、本システムは以下の分野における用途に最適です。
ハイエンドのマルチチップレベル検査
LiDAR
アドバンスドパッケージ
テクノロジー
直動軸にはコンパクトで高性能な磁気式リニアドライブを採用し、高速動作を実現しています。また、高分解能光学式リニアエンコーダーによる直接計測が高精度な制御を可能にします。 本システムは、その耐荷重に対して非常にコンパクトな設置面積を実現しています。 全体として、本システムは要求の厳しいフォトニクス分野の用途に最適です。
コントローラーとソフトウェア
本システムは、産業用途向けのインターフェース（TCP/IP、EtherCAT）と優れた制御性能を備えたACSコントローラーに加え、高速かつ強力なアライメントアルゴリズムを搭載した使いやすいソフトウェアで構成されています。 PIの超高速PILightningアルゴリズムがオプションで利用可能です。
仕様
仕様
動作 | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
|---|---|---|---|---|
制御軸数 | 3 | 4 | 4 | 6 |
直動軸 | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z |
回転軸 | — | θX | θY | θX、θY、θZ |
F‑572.6xx[N]の回転軸位置 | アダプター（下部） | 下 | 下 | 下 |
F‑572.7xx[N]の回転軸位置 | アダプター（上部） | 上面 | 上面 | 上面 |
トラベルレンジ（X、Y、Z） | 60 mm | 60 mm | 60 mm | 60 mm |
回転レンジ（θX） | — | 17° | — | 12° |
回転レンジ（θY） | — | — | 17° | 17° |
回転レンジ（θZ） | — | — | — | 17° |
最大速度（X、Y、Z） | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s |
最大角速度（θX、θY、θZ） | — | 10 °/s | 10 °/s | 10 °/s |
位置決め | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
F-572.6xx, F-572.7xx: 最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z1) | 50 nm | 50 nm | 50 nm | 50 nm |
F-572.6xxN, F-572.7xxN: 最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z1) | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
最小インクリメンタルモーション（θX、θY、θZ）1） | — | 5 µrad | 5 µrad | 5 µrad |
双方向再現性（X、Y、Z、トラベルレンジの10％）1） | 150 nm | 150 nm | 150 nm | 150 nm |
双方向再現性（θX、θY、θZ、トラベルレンジの10％）1） | — | 25 µrad | 25 µrad | 25 µrad |
センサー仕様 | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
センサータイプ（X、Y、Z） | インクリメンタルリニアエンコーダー | |||
センサー信号（X、Y、Z） | sin/cos、1 V（ピークツーピーク） | |||
センサータイプ（θX、θY、θZ） | インクリメンタルリニアエンコーダー | |||
センサー信号（θX、θY、θZ） | A/B直交、RS-422 | |||
駆動特性 | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
駆動タイプ（X、Y、Z） | コアレス3相リニアモーター | |||
駆動タイプ（θX、θY、θZ） | — | 2相ステッパーモーター | ||
PWMアンプ | F-572.6xx, F-572.7xx: — F-572.6xxN、F-572.7xxN：あり | |||
機械特性 | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
最大耐荷重 | 4 kg | 3 kg | 3 kg | 2 kg |
質量 | 13.8 kg | 14.5 kg | 14.5 kg | 16.2 kg |
質量（コントローラーを含む） | 約29 kg | 約30 kg | 約30 kg | 約32 kg |
アライメント | F-572 | |||
スパイラルエリアスキャン（直径100 µm）のスキャン時間2） | < 1 s | |||
スパイラルエリアスキャン（直径500 µm）のスキャン時間2） | <10 s | |||
勾配検索による信号最適化3）、±5 μmの範囲でランダムに変位させた場合（再現性 < 0.01 dB） | 5 s | |||
使用するパワーメーターの要件 | F-572 | |||
最大出力電圧範囲 | 10 V | |||
最小帯域幅 | 20 kHz | |||
最大ノイズレベル | 120 dBm | |||
その他 | F-572.630[N] F-572.730[N] | F-572.64X[N] F-572.74X[N] | F-572.64Y[N] F-572.74Y[N] | F-572.663[N] F-572.763[N] |
F-572用コントローラー（PWMアンプなし） | G-901K068 | G-901K069 | ||
F-572用コントローラー（PWMアンプあり） | G-901K071 | G-901K072 | ||
見積 / 発注
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F-572.630N
3つの直動軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、直動軸の最大速度：500 mm/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、回転軸用アダプター：下部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.730
3つの直動軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、直動軸の最大速度：500 mm/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、回転軸用アダプター：上部、コントローラー付属
F-572.730N
3つの直動軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、直動軸の最大速度：500 mm/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、回転軸用アダプター：上部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.64X
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θX）：5 μrad、回転軸：下部、コントローラー付属
F-572.64XN
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θX）：5 μrad、回転軸：下部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.74X
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θX）：5 μrad、回転軸：上部、コントローラー付属
F-572.74XN
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θX）：5 μrad、回転軸：上部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.64Y
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θY）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θY）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θY）：5 μrad、回転軸：下部、コントローラー付属
F-572.64YN
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θY）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θY）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θY）：5 μrad、回転軸：下部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.74Y
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θY）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θY）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θY）：5 μrad、回転軸：上部、コントローラー付属
F-572.74YN
3つの直動軸と1つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θY）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θY）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θY）：5 μrad、回転軸：上部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.663
3つの直動軸と3つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX、θY、θZ）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：12°、回転レンジ（θY、θZ）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θX、θY、θZ）：5 μrad、回転軸：下部、コントローラー付属
F-572.663N
3つの直動軸と3つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX、θY、θZ）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：12°、回転レンジ（θY、θZ）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θX、θY、θZ）：5 μrad、回転軸：下部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
F-572.763
3つの直動軸と3つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX、θY、θZ）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：12°、回転レンジ（θY、θZ）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：50 nm、最小インクリメンタルモーション（θX、θY、θZ）：5 μrad、回転軸：上部、コントローラー付属
F-572.763N
3つの直動軸と3つの回転軸を備えたフォトニクスアライメントシステム： （X、Y、Z、θX、θY、θZ）、トラベルレンジ（X、Y、Z）：60 mm、回転レンジ（θX）：12°、回転レンジ（θY、θZ）：17°、直動軸の最大速度：500 mm/s、回転軸の最大速度：10°/s、最小インクリメンタルモーション（X、Y、Z）：5 nm、最小インクリメンタルモーション（θX、θY、θZ）：5 μrad、回転軸：上部、PWMアンプ、PWMアンプ内蔵コントローラー付属
アクセサリー
F-572.L01
F-572アライメントシステム用ファームウェア機能（高速ファーストライト検索、サーフェスカップリングおよびエッジカップリングに対応）
F-572.A01
F-572アライメントシステム用ケーブルホルダー
F-572.A02
F-572アライメントシステム用ブレッドボード取り付けアダプタープレート（150 mm × 150 mm、M6ネジ用ホールパターン）
F-603.62
F-572アライメントシステム用ファイバーホルダー（サーフェスカップリング用、8°傾斜）
F-603.63
F-572アライメントシステム用ファイバーホルダー（エッジカップリング用）
F-603.64
F-572アライメントシステム用ファイバーアレイホルダー（サーフェスカップリング用、8°傾斜）
F-603.65
F-572アライメントシステム用ファイバーアレイホルダー（エッジカップリング用）
